本設備是數(shù)控垂直式，在加工過程中自動測量加工產(chǎn)品的厚度尺寸，同時可以設置砂輪盤的修正方式，時刻保持好的加工條件，并能準確加工到程序上設置的目標值的一個全自動超精密減薄機設備。

為了實現(xiàn)自動化及超精密的加工要求，在設備上配有自動修整砂輪裝置及自動在線測量芯片（藍寶石）厚度裝置、精密輔助修整和測量裝置。安全操作的的原則下，設備的性能更能提高一籌。

系統(tǒng)配置：

本系統(tǒng)采用國際先進的三菱電機自動化系統(tǒng)進行控制，CPU選用FX5U系列PLC,變頻器選用D700系列2臺，三菱J4系列伺服4套，對各個動力系統(tǒng)進行動力分配及精確控制；選用GT2000人機界面進行系統(tǒng)操作及數(shù)據(jù)、歷史記錄進行管理，采用2個德國海德漢光柵尺進行精確位置測量反饋，采用2個日本基恩士長度計進行自動在線測量等。

系統(tǒng)特點：

1.自動化集成程度高，從半成品加工到標準的成品只需要一個按鈕就可完成。

2.采用SSCNETIII/H總線系統(tǒng)，實現(xiàn)快速的定位、強抗干擾省配線等性能。

3.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎，而且加工精度可控制在±0.003mm范圍內(nèi)。

4.減薄效率高，藍寶石每分鐘可減薄48um，硅片每分鐘可減薄250um。